Tổng hợp bằng phương pháp ôxi hóa nhiệt và khảo sát đặc tính nhạy khí của thanh nano Fe₂O₃

 JST: Engineering and Technology for Sustainable Development 
Vol. 1, Issue 2, April 2021, 084-088 
84 
Tổng hợp bằng phương pháp ôxi hóa nhiệt và khảo sát 
đặc tính nhạy khí của thanh nano Fe2O3 
Synthesis by Thermal Oxidation and Gas Sensing Properties of Fe2O3 Nanorods 
Nguyễn Thanh Nghị, Vũ Xuân Hiền*, Đặng Đức Vượng, Nguyễn Đức Chiến 
Viện Vật lý Kỹ thuật, Trường Đại học Bách khoa Hà Nội, Hà Nội, Việt Nam 
*Email: Hien.vuxuan@hust.edu.vn 
Tóm tắt 
Bằng phương pháp ôxi hóa nhiệt tấm sắt ở nhiệt độ 300 oC-500 oC trong không khí, thanh nano ôxít sắt 
được chế tạo thành công. Hình thái và cấu trúc của vật liệu nano Fe2O3 được nghiên cứu bằng phương 
pháp hiển vi điện tử quét và nhiễu xạ tia X. Đặc tính nhạy khí của thanh nano Fe2O3 được khảo sát trên hệ 
đo khí tĩnh ở nhiệt độ làm việc trong dải nhiệt độ vùng từ 300 oC đến 500 oC với các khí C2H5OH, 
CH3COCH3, LPG và NH3. Kết quả thu được vật liệu thanh nano Fe2O3 cho độ nhạy cao và đáp ứng tốt với 
khí CH3COCH3. Độ nhạy thu được lớn nhất 19 lần với khí CH3COCH3 ở nồng độ 1000 ppm và nhiệt độ 
400 oC. 
Từ khóa: Fe2O3, thanh nano, ôxi hóa nhiệt, cảm biến khí 
Abstract 
Iron oxide nanorods were synthesized by thermal oxidation of iron foil in the air at 300-500 oC. The scanning 
electron microscopy (SEM) and X-ray diffraction (XRD) were used to investigate the crystal structures and 
morphologies properties of the Fe2O3 nanorods. The gas sensing properties of the Fe2O3 nanorods were 
investigated using a static-gas measuring system in a range of 300 oC-500 oC with the target gases of 
C2H5OH, CH3COCH3, LPG, and NH3. The results show that Fe2O3 nanorods possess high sensitivity and 
selectivity toward CH3COCH3. The highest response of 19 was recorded with 1000 ppm CH3COCH3 at the 
operating temperature of 400 oC. 
Keywords: Fe2O3, nanorods, thermal oxidations, gas sensors 
1. Giới thiệu* 
Đầu những năm 1950, nhóm K. G. Compton đã 
quan sát thấy hiện tượng mọc sợi trên bề mặt kim loại 
bằng quá trình ôxi hóa nhiệt, nung nóng tấm kim loại 
ở nhiệt độ cao trong không khí [1,2]. Hiện tượng này 
đã mở ra một hướng nghiên cứu mới cho các nhà 
khoa học bởi ưu điểm quy trình đơn giản, giá thành rẻ 
đồng thời giúp chế tạo các vật liệu nano ôxít kim loại 
với số lượng lớn và độ đồng đều cao [3,4]. Bằng 
phương pháp ôxi hóa nhiệt ở nhiệt độ cao trong 
không khí, một số vật liệu đã chế tạo thành công như 
dây nano CuO [3,5], dây nano Fe2O3 [6], tấm nano 
Co3O4 [7] và thanh nano WO3 [8]. 
Vật liệu ôxít sắt có thể được chế tạo bằng nhiều 
phương pháp như là: phương pháp lắng đọng pha hơi 
vật lý, phương pháp hóa ướt, phương pháp sol-gel, 
phương pháp đồng kết tủa, phương pháp vi nhũ 
tương, phương pháp nhiệt thủy phân [9,10] vv Tuy 
nhiên, chúng tôi lựa chọn phương pháp ôxi hóa nhiệt 
để chế tạo vật liệu dây nano sắt ôxít vì phương pháp 
này đơn giản và có thể thực hiện trên quy mô lớn với 
độ đồng đều cao. 
ISSN: 2734-9381 
https://doi.org/10.51316/jst.149.etsd.2021.1.2.14 
Received: March 23, 2020; accepted: July 02, 2020 
Ôxít sắt đã và đang được sử dụng rộng rãi trong 
các lĩnh vực như xúc tác, pin năng lượng, pin mặt 
trời, lớp phủ kháng khuẩn và cảm biến khí [11-16]. 
Trong lĩnh vực ứng dụng làm cảm biến khí, các 
nghiên cứu về chế tạo số lượng lớn vật liệu nano ôxít 
kim loại với độ đồng đều cao và hình thái như mong 
muốn vẫn đang là chủ đề được các nhà khoa học trên 
thế giới đặc biệt quan tâm. 
Trong nghiên cứu này, chúng tôi đưa ra quy 
trình tổng hợp thanh nano Fe2O3 trực tiếp từ kim loại 
sắt đồng thời khảo sát đặc trưng nhạy khí của vật liệu 
này sau chế tạo. 
2. Thực nghiệm 
Tấm sắt có độ tinh khiết 99,9 % được mài nhẵn, 
xử lí bằng CH3COCH3 và ethanol để loại bỏ lớp 
màng chống gỉ và các tạp chất trên bề mặt. Sau đó, 
tấm sắt được đưa vào lò ủ nhiệt ở nhiệt độ 300 oC và 
thời gian ôxi hóa được đặt là 96 h. Sau khi chế tạo 
được lớp màng ôxít trên bề mặt, mẫu được phân tích 
bằng phương pháp nhiễu xạ tia X (XRD; XPERT-
PRO) và hiển vi điện tử quét (SEM; JEOL JSM-
7610F). 
Để nghiên cứu đặc trưng nhạy khí của mẫu sau 
khi chế tạo, chúng tôi rung siêu âm mẫu trong dung 
dịch C2H5OH, để tách và phân tán phần ôxít sắt trên 
bề mặt tấm sắt. Sau đó, dung dịch này được nhỏ phủ 
 JST: Engineering and Technology for Sustainable Development 
Vol. 1, Issue 2, April 2021, 084-088 
85 
lên trên bề mặt điện cực răng lược Pt (kích thước khe 
răng lược là 20 µm trên đế SiO2/Si) hình 1. Các điện 
cực sau khi phủ vật liệu được ủ ở 400 oC trong 2 h 
trước khi khảo sát với các khí C2H5OH, CH3COCH3, 
LPG và NH3. 
Hình 1. Ảnh cảm biến sau khi chế tạo sử dụng điện 
cực răng lược Pt. 
Các đặc tính nhạy khí của mẫu được khảo sát 
bằng hệ đo khí tĩnh. Ở đây tín hiệu là điện trở của lớp 
vật liệu nhạy khí. 
 /air gasS R R= (1) 
trong đó: 
- Rair là điện trở của màng cảm biến trong không khí. 
- Rgas là điện trở của màng cảm biến khi xuất hiện khí 
thử. 
Cùng với độ nhạy, khả năng chọn lọc và các yếu 
tố khác như nhiệt độ làm việc, thời gian đáp ứng và 
hồi phục cũng là các thông số được khảo sát trong bài 
báo này. 
3. Kết quả và thảo luận 
Hình 2 là kết quả XRD của tấm sắt được nung ở 
300 oC. Trên phổ XRD của mẫu, đỉnh nhiễu xạ ở 
44,9o ứng với mặt (011) là đỉnh đặc trưng của Fe [Mã 
JCPDF số 96-900-6604]. Các đỉnh nhiễu xạ còn lại 
của mẫu ở 30,2o, 33,9o, 35,5o, 43,4o, 53,8o, 57,6o, 
62,7o và 65,1o đều phù hợp với các mặt (220), (310), 
(311), (400), (422), (511), (440), (530) của ôxít sắt 
 -Fe2O3 [Mã JCPDF số 00-004-0755]. Khi nâng 
nhiệt độ nung lên 400 oC và 500 oC, phổ XRD của các 
mẫu này xuất hiện thêm các đỉnh nhiễu xạ nhỏ ở 
37,1o, 43,0o và 62,7o tương ứng với các mặt (222), 
(400) và (440) của pha Fe3O4 [Mã JCPDF số 00-001-
1111]. Kết quả này phù hợp với nghiên cứu của nhóm 
L. Liao tổng hợp các cấu trúc nano Fe2O3 [6]. Trong 
đó, khi ôxi hóa nhiệt ở 300 oC mẫu là ôxít sắt -
Fe2O3, trên 300 oC đến 400 oC mẫu có thêm pha ôxít 
sắt Fe3O4. 
Kết quả khảo sát hình thái bề mặt cho thấy bề 
mặt mẫu được nung ở 300 oC (hình 3a) có dạng thanh 
nano phủ kín bề mặt tấm sắt với độ đồng đều cao. 
Các thanh nano ôxít sắt có chiều dài 1 µm đến 3 µm, 
bề rộng trung bình khoảng 50-70 nm, định hướng 
mọc theo phương thẳng đứng vuông góc với bề mặt 
mẫu. Khi tăng nhiệt độ nung lên 400 oC-500 oC (hình 
3b-c), các tấm nano với kích thước trung bình 500 nm 
đã xuất hiện với mật độ dày đặc. Quá trình chuyển đổi 
hình thái từ thanh sang tấm nano Fe2O3 khi nung tấm 
sắt ở nhiệt độ trên 300 oC đã được lý giải trước đó [6]. 
20 30 40 50 60 70
C
ư
ờ
n
g
 đ
ộ
 (
a
.u
.)
2 (o)
 T = 500 oC
 T = 400 oC
 T = 300 oC
(a)
(b)
(c)
Fe
Fe2O3
Fe3O4
Hình 2. Phổ XRD của thanh nano ôxít sắt Fe2O3 chế 
tạo bằng phương pháp ôxi hóa nhiệt ở 300 oC (a), 
400 oC (b) và 500 oC (c). 
Vật liệu thanh nano ôxít -Fe2O3 được nhiều 
nhóm các nhà khoa học quan tâm nghiên cứu và ứng 
dụng làm cảm biến nhạy khí [17]. Nó là chất bán dẫn 
loại n có năng lượng vùng cấm Eg = 2,1 eV và là chất 
ôxit sắt ổn định nhất trong điều kiện môi trường xung 
quanh [17]. Trong thí nghiệm của chúng tôi, mẫu sắt 
nung ở 300 oC cho kết quả chế tạo vật liệu nano thanh 
Fe2O3 đơn pha. Do đó, mẫu này được chọn để khảo 
sát đặc tính nhạy khí. Hình 4 là kết quả đo nhạy khí 
phụ thuộc nhiệt độ với các khí C2H5OH, CH3COCH3, 
LPG và NH3 ở nhiệt độ làm việc trong vùng 300 oC 
đến 500 oC với nồng độ các khí đều là 1000 ppm. 
Kết quả khảo sát tính chất nhạy khí của mẫu cho 
thấy, vật liệu đáp ứng tốt nhất với khí CH3COCH3 ở 
nhiệt độ 400 oC, độ đáp ứng ở nồng độ khí là 1000 
ppm là khoảng 19 lần. Trong khi đó độ đáp ứng ở 
cùng nồng với C2H5OH độ tốt nhất khoảng 7 lần, với 
LPG và NH3 thì hầu như không nhạy. Kết quả này 
cho thấy mẫu thể hiện tính chọn lọc với khí 
CH3COCH3. 
Hình dạng thanh tạo lớp xốp trên bề mặt ôxít rất 
lớn làm tăng khả năng phản ứng giữa khí thử với (O2-, 
O-, O2-) nên độ nhạy của cảm biến tăng. Trên bề mặt 
ôxít bán dẫn kim loại, ôxi ngoài môi trường có thể 
được hấp phụ vật lý và hóa học theo các phương trình 
sau [18]: 
2 2( ) ( )O gas O ads (2) 
2 2( ) ( )( 100 )
oO ads e O ads T C− −+  (3) 
2 ( ) 2 ( )(100 300 )
o oO ads e O ads C T C− − −+  (4) 
2( ) ( )( 300 )oO ads e O ads T C− − −+  (5) 
 JST: Engineering and Technology for Sustainable Development 
Vol. 1, Issue 2, April 2021, 084-088 
86 
Hình 3. Ảnh FE-SEM bề mặt tấm sắt sau khi nung ở 
300 oC (a), 400 oC (b), 500 oC (c) trong 96 h. 
Khi vật liệu tiếp xúc với khí khử như 
CH3COCH3 hoặc C2H5OH. Sẽ xảy ra phản ứng giữa 
các khí này với các ion (O2- , O- và O2-) tạo thành CO2 
và H2O đồng thời giải phóng các điện tử làm tăng độ 
dẫn của thanh nano sắt ôxít. Các quá trình này được 
mô tả bởi phương trình 6 và 7 [19]: 
3 3 2 2 24 3 3 4CH COCH O CO H O e
− −+  + + (6) 
2 5 2 2 23 2 3 3C H OH O CO H O e
− −+  + + (7) 
Khi tăng nhiệt độ làm việc làm tăng khả năng 
khuếch tán của khí C2H5OH. Điều này khiến cho độ 
đáp ứng khí của cảm biến tăng khi nhiệt độ làm việc 
lớn hơn 300 oC. Khi nhiệt độ làm việc tiếp tục tăng do 
ôxi hấp phụ trước đó bị giải hấp phụ khỏi bề mặt vật 
liệu thì độ nhạy sẽ giảm dần. 
0 120 240 360
0
5
10
15
20
 300 oC
 350 oC
 400 oc
 450 oC
 500 oC
§
¸
p
 ø
n
g
 (
R
a/
R
g
)
Thêi gian (s)
(a)
300 350 400 450 500
0
2
4
6
8
10
12
14
16
18
20
 Acetone
 Ethanol
 LPG
 NH3
§
¸
p
 ø
n
g
(R
g
/R
a)
NhiÖt ®é (oC)
(b)
Hình 4. Kết quả đo nhạy khí trong dải nhiệt độ 300-
500 oC, với 1000 ppm CH3COCH3 (a) và đồ thị so 
sánh đáp ứng khí của mẫu với một số khí khác nhau 
(b). 
0 500 1000 1500 2000 2500
0
5
10
15
20
k
h
Ý 
v
µo
§
¸
p
 ø
n
g
 (
R
a/
R
g
)
Thêi gian (s)
k
h
Ý 
ra
Hình 5. Kết quả độ lặp lại khí phụ thuộc nhiệt độ với 
1000 ppm CH3COCH3 ở 400 oC. 
Từ các kết quả trên cho thấy thanh nano ô xít sắt 
nhạy nhất với khí CH3COCH3 ở nhiệt độ 400 oC do 
đó chúng tôi tiến hành khảo sát độ lặp lại của mẫu ở 
điều kiện này. Kết quả khảo sát (hình 5) cho thấy mẫu 
có độ lặp lại cao, các xung khá giống nhau và đồng 
đều. 
 JST: Engineering and Technology for Sustainable Development 
Vol. 1, Issue 2, April 2021, 084-088 
87 
Thời gian đáp ứng và hồi phục của mẫu ở 
400 oC với 1000 ppm CH3COCH3 được thể hiện trên 
hình 6. Kết quả cho thấy thời gian đáp ứng là 24 s và 
thời gian hồi phục là 38 s. 
0 50 100 400 450
0
5
10
15
20
§
¸
p
 ø
n
g
=
(R
a/
R
g
)
Thêi gian (s)
24s 38s
Hình 6. kết quả đo nhạy khí phụ thuộc nhiệt độ với 
1000 ppm CH3COCH3 ở 400 oC. 
Bảng 1. So sánh thời gian đáp ứng hồi phục của thanh 
nano Fe2O3 nhạy khí CH3COCH3. 
Vật liệu 
Nhiệt 
độ làm 
việc 
(oC) 
Thời 
gian 
Đáp ứng 
/ hồi 
phục 
Tài liệu 
tham 
khảo 
0.6% CNT & Fe2O3 220 40 - 44 [20] 
Ống nano α-Fe2O3 271,2 40 - 13 [21] 
α-Fe2O3/SnO2 HNAs 340 14 - 70 [22] 
α-Fe2O3/CuO NRs 400 80 - 80 [23] 
Thanh nano α-Fe2O3 400 24 - 38 
Nghiên 
cứu này 
Thời gian đáp ứng và thời gian hồi phục của 
thanh nano α-Fe2O3 cũng tương đương so với các 
mẫu có hình thái khác như trên bảng 1. Với kết quả 
trên mẫu có khả năng ứng dụng làm cảm biến nhạy 
khí. 
0 500 1000 1500 2000
0
5
10
15
20
25 1500 ppm
1000 ppm
500 ppm
250 ppm
§
¸p
 ø
n
g
=
(R
a/
R
g
)
Thêi gian (s)
125 ppm
Hình 7. Kết quả độ nhạy của mẫu theo nồng độ 
CH3COCH3 của thanh nano Fe2O3 ở 400 oC. 
Hình 7 cho thấy sự phụ thuộc giữa độ nhạy của 
mẫu theo nồng độ khí aceton của thanh nano Fe2O3 ở 
nhiệt độ tối ưu 400 oC. Độ nhạy của mẫu đo có xu 
hướng tăng tuyến tính với nồng độ khí CH3COCH3. 
Kết quả này cho thấy thanh nano Fe2O3 chế tạo bằng 
phương pháp oxi hóa nhiệt kim loại sắt là một ứng 
viên tốt làm cảm biến acetôn. 
4. Kết luận 
Bằng phương pháp ôxi hóa nhiệt, các thanh 
nano -Fe2O3 có hình dạng chiều dài 1 µm đến 3 µm 
đã được chế tạo thành công. Khi nâng nhiệt độ từ 
300 oC lên 400 oC-500 oC, các tấm nano Fe2O3 đã 
xuất hiện thay thế các thanh nano Fe2O3. Tuy nhiên, 
các mẫu được nung ở 400 oC-500 oC đã xuất hiện 
thêm pha Fe3O4. Thanh nano -Fe2O3 thể hiện tính 
chọn lọc với khí CH3COCH3 tại nhiệt độ làm việc tối 
ưu 400 oC. Độ nhạy cao nhất mẫu này ghi nhận được 
là 19 lần. Thời gian đáp ứng hồi phục của mẫu lần 
lượt là 24 s và 38 s. Thêm vào đó, hoạt động ổn định 
của cảm biến và khả năng biến đổi tuyến tính của đáp 
ứng theo nồng độ CH3COCH3 cho thấy thanh nano -
Fe2O3 chế tạo bằng oxi hóa nhiệt tấm sắt có khả năng 
ứng dụng làm cảm biến acetôn. 
Lời cảm ơn 
Xin cảm ơn đề tài cấp trường T2017-PC-136 đã 
tài trợ kinh phí thực hiện bài báo này. 
Tài liệu tham khảo 
[1] S. Bhassyvasantha, N. Fredj, S. D. Mahapatra, W. 
Jennings, I. Dutta, B. S. Majumdar, Whisker 
Mitigation Mechanisms in Indium-Doped Tin Thin 
Films: Role of the Surface, J. Electron. Mater., vol. 
47, no. 10, pp. 6229–6240, 2018, 
[2] S. M. Arnold, S. E. Koonce, Filamentary growths on 
metals at elevated temperatures, J. Appl. Phys., vol. 
27, no. 8, p. 964, 1956, 
 10.1063/1.1722526. 
[3] X. Jiang, T. Herricks, Y. Xia, CuO Nanowires Can 
Be Synthesized by Heating Copper Substrates in Air, 
Nano Lett., vol. 2, no. 12, 2002, 
[4] Y. Zhu, C. H. Sow, Hotplate technique for 
nanomaterials, Sel. Top. Nanosci. Nanotechnol., vol. 
4, no. 2, pp. 149–169, 2009, 
[5] J. T. Chen et al., CuO nanowires synthesized by 
thermal oxidation route, J. Alloys Compd., vol. 454, 
no. 1–2, pp. 268–273, 2008, 
[6] L. Liao et al., Morphology controllable synthesis of 
α-Fe2O3 1D nanostructures: Growth mechanism and 
nanodevice based on single nanowire, J. Phys. Chem. 
C, vol. 112, no. 29, pp. 10784–10788, 2008, 
[7] T. Yu et al., Controlled growth and field-emission 
properties of cobalt oxide nanowalls, Adv. Mater., 
 JST: Engineering and Technology for Sustainable Development 
Vol. 1, Issue 2, April 2021, 084-088 
88 
vol. 17, no. 13, pp. 1595–1599, 2005, 
[8] F. C. Cheong et al., WO3-x nanorods synthesized on a 
thermal hot plate, J. Phys. Chem. C, vol. 111, no. 46, 
pp. 17193–17199, 2007, 
[9] R. Malik, V. K. Tomer, Y. K. Mishra, L. Lin, 
Functional gas sensing nanomaterials: A panoramic 
view, Appl. Phys. Rev., vol. 7, no. 2, 2020, 
[10] W. Tan, J. Tan, L. Fan, Z. Yu, J. Qian, X. Huang, 
Fe2O3-loaded NiO nanosheets for fast 
response/recovery and high response gas sensor, 
Sensors Actuators, B Chem., vol. 256, pp. 282–293, 
2018,  10.1016/j.snb.2017.09.187. 
[11] C. Liu, J. Mao, X. Zhang, L. Yu, Selenium-doped 
Fe2O3-catalyzed oxidative scission of C[dbnd]C bond, 
Catal. Commun., vol. 133, no. October 2019, p. 
105828, 2020, 
[12] X. Zhang et al., Porous-Fe2O3 nanoparticles 
encapsulated within reduced graphene oxide as 
superior anode for lithium-ion battery, 
Nanotechnology, vol. 31, no. 14, 2020, 
[13] H. Baniamerian, P. Tsapekos, M. Alvarado-Morales, 
S. Shokrollahzadeh, M. Safavi, I. Angelidaki, Anti-
algal activity of Fe2O3–TiO2 photocatalyst on 
Chlorella vulgaris species under visible light 
irradiation, Chemosphere, vol. 242, 2020, 
[14] D. Jlidi et al., Ethanol sensing enhancement of low-
coast sprayed α-Fe2O3 films, Mater. Res. Express, 
vol. 6, no. 12, 2019, 
[15] X. Wang et al., Oxygen vacancy defects engineering 
on Ce-doped α-Fe2O3 gas sensor for reducing gases, 
Sensors Actuators, B Chem., vol. 302, no. August 
2019, p. 127165, 2020, 
[16] A. Pramanik, S. Maiti, S. Mahanty, Metal hydroxides 
as a conversion electrode for lithium-ion batteries: A 
case study with a Cu(OH)2 nanoflower array, J. 
Mater. Chem. A, vol. 2, no. 43, pp. 18515–18522, 
2014,  
[17] L. Liao et al., Multifunctional CuO nanowire devices: 
P-type field effect transistors and CO gas sensors, 
Nanotechnology, vol. 20, no. 8, 2009, 
[18] D. Kohl, Surface processes in the detection of 
reducing gases with SnO2 based devices, Sensors and 
Actuators, vol. 18, no. 1, pp. 71–113, 1989, 
[19] J. Ma et al., Porous platelike hematite mesocrystals: 
Synthesis, catalytic and gas-sensing applications, J. 
Mater. Chem., vol. 22, no. 23, pp. 11694–11700, 
2012,  
[20] Q. Tan, J. Fang, W. Liu, J. Xiong, W. Zhang, Acetone 
sensing properties of a gas sensor composed of 
carbon nanotubes doped with iron oxide nanopowder, 
Sensors, vol. 15, no. 11, pp. 28502–28512, 2015, 
[21] Y. Tao, Q. Gao, J. Di, X. Wu, Gas sensors based on -
Fe2O3 nanorods, nanotubes and nanocubes, J. 
Nanosci. Nanotechnol., vol. 13, no. 8, pp. 5654–5660, 
2013,  
[22] H. Gong, C. Zhao, G. Niu, W. Zhang, F. Wang, 
Construction of 1D/2D α -Fe2O3 /SnO2 Hybrid 
Nanoarrays for Sub-ppm Acetone Detection , 
Research, vol. 2020, pp. 1–11, 2020, 
[23] S. Park, H. Kheel, G. J. Sun, T. Ko, W. I. Lee, C. Lee, 
Acetone gas sensing properties of a multiple-
networked Fe2O3-functionalized CuO nanorod sensor, 
J. Nanomater., vol. 2015, pp. 1–7, 2015,